Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials: Volume 38 von R P H Chang, B. Abeles Verlag: Cambridge University Press Reihe: Mrs Proceedings Gebundene Ausgabe ISBN: 978-0-931837-03-6 Erschienen am 04.04.1985 Sprache: Englisch Format: 236 mm [H] x 157 mm [B] x 36 mm [T] Gewicht: 1043 Gramm Umfang: 540 Seiten
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Klappentext
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
