1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Begriffsdefinitionen.- 1.2.1 Stellglied, Aktor, Aktorik.- 1.2.2 Fehler, Störung, Ausfall.- 1.2.3 Diagnosesystem, Diagnose, Überwachung, Fehler-lokalisierung und -anzeige, Reaktion.- 1.2.4 Überwachungsmethode, Überwachungsverfahren.- 1.2.5 Diagnosebereiche an einer Fertigungseinrichtung.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Fehleranalyse an Fertigungseinrichtungen.- 2.2 Folgerungen aus der Stördatenanalyse.- 2.3 Verfahren zur Überwachung und Diagnose von steuerungsexternen Fehlern.- 2.3.1 Bekannte Überwachungsverfahren.- 2.3.2 Lösungen aus sicherheitsgerichteten Bereichen.- 2.3.2.1 Programmtechnische Verfahren.- 2.3.2.2 Gerätetechnische Verfahren.- 2.3.3 Bewertung der Verfahren zur Fehlererkennung und -diagnose sowie von Lösungen aus der Si cherheitstechnik.- 2.4 Ziel der Arbeit.- 3 Anforderungen an ein Steuerungssystem bei Ein satz des steuerungsperipheren Diagnosesystems.- 3.1 Steuerungsperipheres Diagnosesystem.- 3.2 Steuerungsperiphere Komponenten.- 3.3 Datenaustausch zwischen Diagnosesystem und Steuerung bzw. Komponenten.- 4 Erweiterte Überwachung zur eindeutigen Fehler erkennung.- 4.1 Überwachungsverfahren für Einzelkomponenten.- 4.1.1 Überwachungsverfahren für binäre Signalgeber.- 4.1.2 Stellgliedüberwachung.- 4.1.3 Aktorüberwachung.- 4.2 Gruppenbezogene Überwachung.- 4.2.1 Überwachung von Signalgebern auf widersprüchliche Signale.- 4.2.2 Konformitätsüberwachung der Rückmeldungen aus der Aktorik.- 4.3 Überwachungseinrichtungen mit vereinbarter sicherer Funktion.- 5 Steuerungsperipheres Diagnosesystem.- 5.1 Überwachungsgerechte Signalgeber, Stellglieder und Aktoren sowie überwachte, bewegte Maschi nenelemente (Komponentenüberwachung).- 5.1.1 Hardwareerweiterungen von peripheren Komponenten für die Überwachung.- 5.1.2 Strukturinformation für die Komponentenüberwachung.- 5.1.3 Bereitgestellte Informationen aus der Komponentenüberwachung.- 5.2 Gruppenüberwachung von Signalgebern und der Aktorik.- 5.3 Diagnose, Fehlerlokalisierung und Bereitstellen von Fehlermeldungen.- 5.4 Reaktionsmaßnahmen im steuerungsperipheren Diagnosesystem.- 5.4.1 Tolerierung von fehlerhaften binären Gebersignalen.- 5.4.2 Tolerierung von Stellgliedfehlern.- 5.4.3 Beenden bzw. Blockieren von Steuerungsfunk-tionen.- 5.5 Signalerzeugung und Signalausgabe zur Ansteuerung der Aktorik.- 5.6 Signalreduktion und -bewertung, Bereitstellen eines bewerteten Zustandsabbilds.- 5.7 Projektierung eines Diagnosesystems.- 5.7.1 Informationsdarstellung und -speicherung.- 5.7.2 Abarbeiten und Bereitstellen der Daten.- 5.7.2.1 Die Koordinationslogik.- 5.7.2.2 Aufbau für die Einzelkomponentenüberwachung.- 5.7.2.3 Aufbau für die Überwachung und Diagnose von mehreren Komponenten.- 5.7.3 Steuer-, Überwachungs- und Diagnosedatenaustausch.- 5.7.3.1 Datenaustausch beim Einsatz von überwachungs-gerechten peripheren Komponenten.- 5.7.3.2 Bewertung bekannter Feldbuslösungen für die Ankopplung von überwachungsgerechten binären Komponenten.- 6 Realisierung des steuerungsperipheren Diagno- sesysterns.- 6.1 Gerätetechnische Realisierung.- 6.2 Softwarefunktionen.- 6.2.1 Datenverarbeitung.- 6.2.2 Datenübertragung.- 6.3 Betrieb und Erfahrung.- 6.4 Fehleranzeige.- 6.5 Oberfläche zur Konfiguration des steuerungsperipheren Diagnosesystems und der Struktur-dateneingabe.- 6.6 Ausblick.- 7 Zusammenfassung.- Schrifttum.